分析的准确性都有重大影响。目前，国内外所使用的滤膜品种很多，按制造滤膜的材质区分，有银滤膜、各类聚氯乙烯或聚脂类滤膜、下班纤维滤膜。其中从分析粉尘中游离二氧化硅的角度看，银滤膜最理想。这是因为银滤膜具备两种特性，一是作为粉尘样品的载体；二是由于银滤膜的背景很低，基线平滑，从而成为分析粉尘中游离二氧化硅（石英）的最理想材料。但是，这种滤膜价格昂贵，且目前在国内还不易买到，因此，在实际工作中未能采用。目前，常用的是有机纤维滤膜，这类滤膜的缺点是普遍存在背景较高、基线噪声较大等不足，这就必然会影响分析的准确性。
对于滤膜的认识，有的资料中提到：对于矿山呼尘试样而言，其样品重量往往很小，因而“其分布在滤膜上可以近似地看作粉尘颗粒既微细又互不叠加或尘层极薄”。其实这种观点是值得商榷的，原因是除因滤膜的材质直接影响背景的高低和基线和基线的平滑而造成分析误差较大外，滤膜的表面物理特性也会对衍射分析产生重大影响。国内一些研究单位的试验表明，用同一种标准石英沉积在不同种类滤膜上，所测得的单位质量石英的X线衍射强度值可相差两倍以上。这是由于，有的滤膜其表面比较粗糙，这种粗糙的表面往往有很多、很大的孔穴（有的孔穴直径可达100μm），这样就会使得游离二氧化硅粒子有可能深陷到这种大孔穴中，造成二氧化硅在滤膜上的分布不一致，重叠严重（而不是想象中的粉尘颗粒既细微又互不叠加！），由于二氧化硅粒子隐入滤膜表面的孔穴之中，滤膜必然会对石英粒子产生屏蔽作用。目前，我国使用的聚氯乙烯滤膜表面非常粗糙，这种滤膜的优点是载尘量大，粗粉尘在滤膜上容易附着，适于采样。由于粗糙表面的滤膜在进行X线衍射时存在上述问题，因此在分析前，需要把粉尘重新沉积在表面较为光滑的微孔滤膜上，以尽量使
